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一、電子超純水工藝簡介
電子、半導體、液晶顯示、光伏工業生產在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質達不到生產工藝用水的要求或者水質不穩定的話,會影響到后續工藝的處理效果和使用壽命。在光伏行業電子管生產中,如其中混入雜質,就會影響電子的發射,進而影響電子管的放大性能及壽命,在顯像管和陰極射線管生產中,其熒光屏內壁用噴涂法或沉淀法附著一層熒光物質,如其配制純水中含銅在8ppb以上,就會引起發光變色;含鐵在50ppb以上就會使發光變色、變暗、閃動并會造成氣泡、條跡、漏光點等廢次品。在黑白顯像管熒光屏生產的12個工序中,玻殼清洗、沉淀、濕潤、洗膜、管頸清洗等5個工序需使用純水,每生產一個晶體管需高純水80kg。液晶顯示器的屏面需有純水清洗和用純水配液,如純水中有金屬離子、微生物、微粒等雜質,就會使液晶顯示電路發生故障,影響液晶屏質量,導致報廢、次品。在晶體管、集成電路生產中,純水主要用于清洗硅片,另有少量用于藥液配制,硅片氧化的水汽源,部分設備的冷卻水,配制電鍍液等。集成電路的產品質量及生產成品率關系很大。水中的堿金屬(K、Na等)會使絕緣膜耐壓不良,重金屬(Au、Ag、Cu等)會使PN結耐壓降低,III族元素(B、Al、Ga等)會使N型半導體特性惡化,V族素(P、As、Sb等)會使P型半導體特性惡化,水中細菌高溫碳化后的磷(約占灰分的20%~50%)會使P型硅片上的局部區域變化為N型硅而導致器件性能變壞。水中的顆粒(包括細菌)如吸附在硅片表面,就會引起電路短路或特性變差。因此水的質量相當重要。采用反滲透加EDI的脫鹽工藝,可以達到超純水標準。
二、應用領域
醫藥行業用水:醫用大輸液、腎透析、注射劑、醫藥制劑等
食品工業用水:飲用純凈水、礦泉水、飲料、啤酒、乳業等
海水、苦咸水淡化:海島、艦船、高鹽堿地區生活用水改善
樓宇、社區優質用水:星級賓館、機場、房產物業純水網絡系統等
化工行業工藝用水:化工、冷卻、化肥、化學藥劑制造
電子工業用水:單晶硅半導體、集成電路塊、顯象管制造系統
工業產品制造用水:汽車、家電涂裝、涂料、油漆、精細加工清洗等
電力行業鍋爐給水:熱力、火力發電鍋爐、中低壓鍋爐動力系統
精細化工、精尖學科用水:化妝品、洗滌劑、生物化工、基因工程等
中藥提?。褐兴帯⑽魉?、淀粉、味精、食乳品、化工等
其它:節水灌溉、汽車清洗、游泳池、污水處理、不銹鋼非標制品等
適合飲用純凈水、釀酒、食品、飲料用水。
三、工藝流程
方案1 預處理系統→復床系統→混床系統→后處理系統→用水點
方案2 預處理系統→ RO 系統→混床系統→后處理系統→用水點
方案3 預處理系統→ RO系統→EDI系統→后處理系統→用水點
工藝一
原水——原水加壓泵——多介質過濾器——活性碳過濾器——鈉離子過濾器——精密過濾器——高壓-----泵——反滲透主機——臭氧消毒器——純水箱——純凈水增壓泵——紫外線殺菌器——用水系統
工藝二
適合飲用純凈水、釀酒、食品、飲料用水。
1.原水——原水加壓泵——多介質過濾器——活性碳過濾器——鈉離子過濾器——精密過濾器——高壓------泵——1級反滲透主機——高壓泵——2級反滲透主機——臭氧消毒器——純水箱——純凈水增壓-----泵——紫外線殺菌器——用水系統
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